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アトーテックのスパッタリング装置

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3 点の製品

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アトーテック株式会社

電子ビーム真空蒸着装置 マグネトロンスパッター装置

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■特徴 ・電子顕微鏡向けタングステン薄膜のコーティング装置です。 ・超高分解能SEMにおいて超高倍率の観察に活躍します。 (20万倍以上) ・試料反転機構を装...


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アトーテック株式会社

電子ビーム真空蒸着装置 3KVイオン銃

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3KVイオン銃は、超高真空中で試料表面のクリーニングを目的として「Arスパッタイオン銃」で、薄膜作成準備、表面分析の実験研究用として利用されています。


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アトーテック株式会社

電子ビーム真空蒸着装置 3KVイオン銃電源

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SPUTTER ION SOURCE 3KVイオン銃 (SIG030) 用制御電源は、オートエミッション機構を有し、安定したイオン源です。


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