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片桐エンジニアリングのスパッタリング装置

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株式会社片桐エンジニアリング

3つのターゲットで同時成膜可能なスパッタ装置 三元マグネトロンスパッタ装置

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◼︎概要 ・三元同時スパッタによる新素材の薄膜開発 ・多元同時スパッタ以外にも、白金ヒーターを採用することで、基板の高温活性化 (ヒー...




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