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FKDファクトリのスパッタリング装置

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研究開発用小型スパッタ装置 FDS/FRS Series-株式会社FKDファクトリ

株式会社FKDファクトリ

研究開発用小型スパッタ装置 FDS/FRS Series

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基本仕様：DC1源スパッタ ■拡張オプション ・2源仕様マグネトロンカソード追加 ・高真空仕様 (ターボ分子ポンプ追加) ・反応性スパッタ仕様 (マスフローコ...


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