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新明和工業のスパッタリング装置

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新明和工業株式会社

装飾膜市場向け真空成膜装置 5槽インラインスパッタ+プラズマ重合システム

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■特長 ・RFプラズマによる前処理、DCスパッタ、RFプラズマ重合の連続処理を1分タクトで実現 ・専用循環コンベアを装着し、全自動ラインを構築 ■主な用途 ・...


新明和工業株式会社

装飾膜市場向け真空成膜装置 バッチ式スパッタ+プラズマ重合装置 VRSP750AD

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■特長 ・ロングライフスパッタ電極を採用 ・新開発のプラズマ重合方式により、高速重合と耐食性、親水性の連続成膜が可能 ・ハイパワースパッタ電源の採用に...


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