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昭和真空のスパッタリング装置

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7 点の製品

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株式会社昭和真空

ロードロック式カルーセル型スパッタリング装置 SPC-2507-Ⅱ

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■二種類の膜を片面ずつ成膜可能なスパッタリング装置 基板反転機構を利用し両面成膜機構を採用した小型カルーセル式スパッタリング装置...


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株式会社昭和真空

ロードロック式通過型スパッタリング装置 SPH-2410-Ⅱ

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■二種類の膜を両面に成膜可能なスパッタリング装置 本装置は水晶振動子のベース電極成膜を目的として開発したロードロック式通過型スパ...


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株式会社昭和真空

ロードロック式 スパッタリング装置 SPH-2500T-Ⅱ

最新の閲覧: 9時間前

■二種類の膜を両面に成膜可能なスパッタリング装置 本装置は水晶振動子のベース電極成膜を目的として開発したロードロック式スパッタリ...


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株式会社昭和真空

インライン式スパッタリング装置 SPH-5000 Series

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■大型基板量産用スパッタリング装置 本装置は大型基板へ金属膜、保護膜、透明導電膜等を成膜するインライン式スパッタリング装置です。 ...


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株式会社昭和真空

枚葉式スパッタリング装置 SPM Series

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枚葉式の大型スパッタリング装置 ■用途・応用例 各種ウエハ電子部品へのメタル成膜 ■特長 ・φ8インチウエハ対応が可能です。 ・スパッ...


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株式会社昭和真空

射出成型機連動型高速スパッタ・重合システム SPP Series

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■樹脂基板への金属膜、保護膜が全自動で成膜可能 射出成型機と本装置を連動させて成形→金属膜 (Al) →保護膜 (SiOx) を簡単に全自動成膜...


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株式会社昭和真空

カルーセル型高速スパッタ重合装置 SPP-155TC

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■小ロット・短いサイクルタイムで回せるスパッタリング装置 本装置は大型の製品にスパッタ・重合成膜が可能にもかかわらずハイサイクル...


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