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長州産業のスパッタリング装置

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長州産業株式会社

スパッタ装置

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長州産業独自の技術を搭載する対向ターゲット方式「ミラートロンスパッタ装置」を提供しています。低プラズマダメージ、低基板温度を実現しながら、ご希望の...


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