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#導電膜

#半導体

#量産

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多元ターゲット型

対象搬送方式

回転基板型

芝浦メカトロニクスのスパッタリング装置

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6 点の製品

芝浦メカトロニクス株式会社

半導体用 スパッタリング装置SWN-5000,BM-1400W

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■次世代・先端半導体に対応したグローバルニッチトップ製品の開発を推進 半導体デバイスの微細化が進んでおり、これに対応した装置の開...


芝浦メカトロニクス株式会社

電子部品用スパッタリング装置BM-1400E,BM-1400W

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■真空技術を応用した成膜装置を幅広い分野にご提供 電子部品をはじめ、各種デバイス、光学、自動車部品などの研究開発から量産まで幅広...


芝浦メカトロニクス株式会社

多用途スパッタリング装置 CFS-12P-LL-90D / CFS-12P-90H

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■真空技術を応用した成膜装置を幅広い分野にご提供 電子部品をはじめ、各種デバイス、光学、自動車部品などの研究開発から量産まで幅広...


芝浦メカトロニクス株式会社

装飾部品用スパッタリング装置 S-1000、BM-700 / 900

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■真空技術を応用した成膜装置を幅広い分野にご提供 電子部品をはじめ、各種デバイス、光学、自動車部品などの研究開発から量産まで幅広...


芝浦メカトロニクス株式会社

光学部品用スパッタリング装置 CCS-1300 / 2110 / 2800

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■真空技術を応用した成膜装置を幅広い分野にご提供 電子部品をはじめ、各種デバイス、光学、自動車部品などの研究開発から量産まで幅広...


芝浦メカトロニクス株式会社

研究開発用スパッタリング装置 CFS-4EP-LL/(自動搬送付き)

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■真空技術を応用した成膜装置を幅広い分野にご提供 電子部品をはじめ、各種デバイス、光学、自動車部品などの研究開発から量産まで幅広...


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