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株式会社MPS
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■概要 メタル膜成膜用のスパッタ装置です。4インチの円形マグネトロンカソードを最大4個搭載可能です。本装置はアンバランスドマグネトロン、強磁場バランス...
株式会社MPS
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■概要 実験用のスパッタ装置です。4インチの円形マグネトロンカソードを最大4個搭載可能です。お客様の要求性能、ご予算に合わせた最適な装置をご提案いたし...
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■概要 センサー膜開発用のスパッタ装置です。絶縁膜と合金膜のスパッタが可能で、資料は水平および垂直軸方向に回転できます。本装置はパソコンで制御してい...
MPSのスパッタリング装置3製品中の注目ランキング
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