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セルバックの半導体製造装置

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株式会社セルバック

半導体製造装置 PEGASUS RTA

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EGASUS RTAは、φ300mmSiに対応した基板回転タイプのアニール装置です。高純度石英チューブの赤外線ランプヒーターは、透過率が高くクリ...


株式会社セルバック

半導体製造装置 MERCURY

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PEGASUS 1500は、G4.5又はφ6インチ (25枚) 基板の搭載が可能な大型バッチ処理装置です。数10μmの厚膜処理は、枚葉式では効率が良くない...




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