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5 点の製品
株式会社セルバック
PEGASUS 1500は、G4.5又はφ6インチ (25枚) 基板の搭載が可能な大型バッチ処理装置です。数10μmの厚膜処理は、枚葉式では効率が良くないですが、本装置は一度...
株式会社セルバック
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PEGASUS HDP-CVDは、ICPの高密度プラズマの高いガス分解効率で、低温成膜と緻密な膜を作り上げます。2タイプのHDP-CVDは、BタイプとHタイプが有り、低温成膜...
株式会社セルバック
PEGASUS Plat Formは、省スペース設計され柔軟なアーキテクチャによりプラズマCVD、RTA、Ashing、EtchingのProcess chamberが統合可能なシステムです。
株式会社セルバック
EGASUS RTAは、φ300mmSiに対応した基板回転タイプのアニール装置です。高純度石英チューブの赤外線ランプヒーターは、透過率が高くクリーン加熱に適し、リフ...
セルバックの半導体製造装置5製品中の注目ランキング
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