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セルバックの半導体製造装置

5 点の製品がみつかりました

5 点の製品

株式会社セルバック

半導体製造装置 MERCURY

70人以上が見ています

最新の閲覧: 6時間前

PEGASUS 1500は、G4.5又はφ6インチ (25枚) 基板の搭載が可能な大型バッチ処理装置です。数10μmの厚膜処理は、枚葉式では効率が良くないですが、本装置は一度...


株式会社セルバック

半導体製造装置 PEGASUS

120人以上が見ています

最新の閲覧: 6時間前

PEGASUSは、メモリ、パワーデバイス、パッケージ、MEMS市場において高品位の成膜プロセスを提供します。


株式会社セルバック

半導体製造装置 PEGASUS HDP-CVD

130人以上が見ています

最新の閲覧: 6時間前

PEGASUS HDP-CVDは、ICPの高密度プラズマの高いガス分解効率で、低温成膜と緻密な膜を作り上げます。2タイプのHDP-CVDは、BタイプとHタイプが有り、低温成膜...


株式会社セルバック

半導体製造装置 PEGASUS Plat Form

100人以上が見ています

最新の閲覧: 6時間前

PEGASUS Plat Formは、省スペース設計され柔軟なアーキテクチャによりプラズマCVD、RTA、Ashing、EtchingのProcess chamberが統合可能なシステムです。


株式会社セルバック

半導体製造装置 PEGASUS RTA

80人以上が見ています

最新の閲覧: 6時間前

EGASUS RTAは、φ300mmSiに対応した基板回転タイプのアニール装置です。高純度石英チューブの赤外線ランプヒーターは、透過率が高くクリーン加熱に適し、リフ...


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