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4 点の製品
株式会社電子技研
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■概要 基板を水平搬送にて、UV洗浄、ブラシ洗浄、シャワースプレー洗浄、超音波洗浄、乾燥処理を行います。 ■特徴 ・UV/03によるシャワースプレー洗浄前の親...
株式会社電子技研
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■概要 LCD等の基板を水平搬送にて、エッチング/シャワー洗浄/乾燥処理を行います。 ■特徴 ・ディップ、スプレー及び揺動機能方式エッチングによる均一なプ...
株式会社電子技研
■概要 基板をスピン回転及びスプレーにて洗浄/リンス後、高速スピン回転で乾燥を行います。 ■特徴 ・優れたパーティクル除去性能 ・高速スピン洗浄によるタ...
株式会社電子技研
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■概要 基板をスプレー方式にて現象/エッチング/乾燥処理を行います。 ■特徴 ・スピン&スプレー併用により高精度で均一なプロセス ・ダブルハンドロボットに...
電子技研の半導体製造装置4製品中の注目ランキング
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