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ミカサの半導体製造装置

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ミカサ株式会社

研究・開発、少量生産向けに小型化した卓上型の装置 フォトリソ用小型現像装置

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■特徴 ・スイングノズル式スプレー現像及びパドル現像も対応 ・耐薬品を考慮し接液部にSUSを使用 ・液晶タッチパネルにてプログラム簡単...


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