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ウェハーサイズ mm

150 - 200

処理能力 秒/chip

2 - 31

イーアールエスの半導体製造装置

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イーアールエス株式会社

ウェハ用機器 リングフレーム再使用の省人化に 全自動リングクリーナー RC-250

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■概要 良品チップを取除いたリングフレームからダイシングテープを剝し、リングフレームの表面を拭き、洗浄後、向きを揃え回収エリアに段積みする全自動装置...


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