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5 点の製品
株式会社ゼビオス
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1チャンバーで異物、有機物、金属汚染が取り除ける多目的洗浄装置 ■【装置概要】 各種ウエハサイズ、材質に対応した両面スクラブ洗浄と薬液処理を兼用した装...
株式会社ゼビオス
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強固着物除去と金属汚染を除去する装置 ■【装置概要】 10MPaの高圧水の断続スプレーユニット。1秒間に最大30回のON/OFF制御が可能。連続流と比較して約1/3...
株式会社ゼビオス
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ワークの表裏面に触れずに表裏面と端面洗浄する装置 ■【装置概要】 研磨後のウエハを界面活性剤、純水スクラ ブで除去後、メガソニックシャワー、リンス、ス...
株式会社ゼビオス
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各種ウエハサイズ・材質に対応した両面スクラブ洗浄と薬液処理を兼用した装置 ■【装置概要】 濾過水、純水を媒体として鏡面研磨、粗研磨、洗浄等を行う研磨...
株式会社ゼビオス
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強固着物除去と金属汚染を除去する装置 ■【装置概要】 ディスクブラシ洗浄、ロールブラシ洗浄に薬液洗浄を加えた少量生産対応の装置 ■【用途例】 膜付け前洗浄
ゼビオスの半導体製造装置5製品中の注目ランキング
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