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渡辺商行の半導体製造装置13製品中の注目ランキング
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少量・多品種向け NSG (SiO2) /PSG/BPSG膜成膜用 枚葉式常圧CVD (APCVD) 装置 (8インチSiCウェハ対応) A200Vは、層間絶縁膜・パッシベーション膜 (保護膜) ...
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量産向け NSG (SiO2) /PSG/BPSG膜成膜用 高生産性 連続式常圧CVD (APCVD) 装置 (8インチウェハまで対応) 「AMAX」シリーズは、層間絶縁膜・パッシベーショ...
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量産向け NSG (SiO2) /PSG/BPSG膜成膜用 高生産性 連続式常圧CVD (APCVD) 装置 (12インチウェハ対応) 「AMAX」シリーズは、層間絶縁膜・パッシベーション膜...
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試作・開発・小ロット生産向け NSG (SiO2) /BSG/PSG/BPSG膜成膜用 バッチ式 (複数枚同時処理) APCVD装置 D501は、少量生産/テストや不定形基板へのシリコン...
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結晶Si太陽電池セル量産用 NSG (SiO2) /PSG/BSG膜成膜用 高生産性 連続式常圧CVD (APCVD) 装置 AMAX1000Sは、「AMAX」シリーズの実績をもとに、太陽電池 (セ...
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FPDなどリジット/フレキシブルデバイスに対応した4.5世代ガラス基板成膜装置です。 ■基本情報 成膜有効幅760mmのガスヘッド2基を搭載し、吸着式加熱ステージ...
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機能水を使用したスピン洗浄ユニットを装備。RCA洗浄液に変わる洗浄液・洗浄方法の採用 弊社グループ会社の洗浄装置はフォトマスク/レチクル製品のハイクリ...
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IPAの蒸気によって水分を置換し被対象物を乾燥、4~8インチウェハ用、各種洗浄機に組み込み・ドッキング可能 IPA蒸気を使用したウェハ乾燥装置です。スタン...
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カセット内のウエハを異なるカセットへ自動移載、2カセット同時やピッチ変換・FtoF (BtoB) 等の機能を付加可能 ■基本情報 ウェハ搬送移載装置は、オープンカ...
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縦型洗浄装置 (VTCシリーズ) は省スペースで「薬液・純水削減」に貢献。世界トップクラスの納入実績 (400台以上) ■基本情報 「HTC/VTC」シリーズは、拡散...
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圧力損失を低減するデザインと共に、ろ過特性、ガス置換特性等ガスフィルターに求められる特性面も優れています。高純度アルミナを使用。 クアーズテック社...
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シリコンウエハ製造のラッピング、ポリッシング工程でのウエハホルダーとして使用するキャリアをお客様のニーズに合わせて製作致します。 ■基本情報 シリコ...
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真空装置のスループット向上、パーティクルの低減・防止にお試しください。 ■基本情報 クアーズテック株式会社と東京エレクトロン株式会社との共同開発によ...