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エイチ・ティー・エルの半導体外観検査装置

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5 点の製品

株式会社エイチ・ティー・エル

フォトマスク検査装置 欠陥検査装置 Dione-CIS

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半導体用フォトマスク上にあるパターンの欠陥、異物検査を高速、高精度で行う欠陥検査装置 ■特長 ・高速、高分解能でDie to Database、...


株式会社エイチ・ティー・エル

フォトマスク検査装置 欠陥検査装置 Gemini

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AM-OLED用高精度大型フォトマスク・ハーフトーンマスク対応の最新モデル ■特長 ・高速、高分解能、Die to Database、Die to Die検査 ・...


株式会社エイチ・ティー・エル

フォトマスク検査装置 精密座標測定装置 Mercury

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FPD用フォトマスクの線幅、開口径、Total pitchや座標位置などの寸法を自動測定 ■特長 ・高位置決め精度、高平坦度を誇るエアスライダ...


株式会社エイチ・ティー・エル

フォトマスク検査装置 精密座標測定機 PMARS-CRGS

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半導体用フォトマスク上にあるパターンの位置を高精度に測定する精密座標測定機。 ■特長 ・高剛性な顕微鏡システムを搭載し、ドリフト...


株式会社エイチ・ティー・エル

フォトマスク検査装置 微小寸法測定装置 Venus

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FPD用フォトマスクのCD (パターン寸法) を正確に測定。 ■特長 ・長期安定性と防振性に優れた高精度XYステージとリニアスケールによる正...


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