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オーテックメカニカルの半導体外観検査装置

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株式会社オーテックメカニカル

LDチップ外観検査機

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■概要 ウエハリング上に並んだLDチップの上面・発光面・後端面の外観検査をする装置。チップに対してXYθ補正を行い、後端面も検査を行う。


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