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アローズエンジニアリングの半導体検査装置

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アローズエンジニアリング株式会社

ウエハエッジ外観検査装置 WEIM-6800A

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■概要 カセットtoカセット方式のウェハエッジ自動検査機です。1枚の検査時間10秒、タクト30秒の高スループットを実現。25枚収納カセットからウェハを1枚ずつ...


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