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アールエムテックの半導体検査装置

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アールエムテック株式会社

イオンビーム関連装置 光学式エンドポイントディテクタ SD1024シリーズ

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光学式エンドポイントシステムSpectrographSD1024シリーズは、エッチングプロセスをリアルタイムにモニタリングすることができます。ま...


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アールエムテック株式会社

検査測定機器 光学式エンドポイントディテクタ 分光式リフレクトメータ SP2100

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SD1024とキセノンランプを組み合わせてウェハー上の薄膜などを測定します。エッチングやCVDアプリケーションでの膜厚の処理中 (in-situ)...


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