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マスクレス露光装置 D-Light DL-1000 は、露光によって半導体ウェハなどにパターンを描画する装置です。DMD (Digital Micromirror Devic...
株式会社ピーエムティー
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マスクレス露光装置 ME-120F は、露光によって半導体ウェハなどにパターンを描画する装置です。DMD (Digital Micromirror Device) と呼...
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ミニマル マスクレス露光装置は、DMD (Digital Micromirror Device) と呼ばれる表示素子を使用し、ステージと完全同期されたON/OFF制御...
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