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13 点の製品
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■特長 ステージ厚さ10mmを実現した角型の透過穴付θ軸 (回転) ステージです。TSDと同等の剛性を保ち、偏荷重にも強いためあらゆる設置方...
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■特長 粗動360°の回転と微動 (マイクロメータヘッド又はファインピッチスクリューからの選択) が可能なすり合わせ式のθ軸 (回転) 粗微動...
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■特長 粗動360°の回転と微動 (マイクロメータヘッド又はファインピッチスクリューからの選択) が可能なすり合わせ式の透過用θ軸 (回転) ...
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■特長 上面のハンドルを回すことで360° (粗動) 回転させることが出来ます。ステージ本体に、アルミを採用し軽量化にも最適です。
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テーブル面が角型のユニークな微動回転ステージです。わずかな角度調整を行う場合や、マイクロ等の突起物がないため装置組込みにも適し...
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ウォームギアで駆動させるため360°にわたり精密な調整が可能な回転ステージです。 ■詳細 ・ステージ中央の貫通穴は、透過穴用としてご...
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■特長 粗動360°の回転と微動 (マイクロメータヘッド又はファインピッチスクリューからの選択) が可能なすり合わせ式のθ軸 (回転) 粗微動...
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ガイドにベアリングを採用し、送り機構にはウォームギアを使用したステッピングモータ駆動の回転ステージです。 ■詳細 計測、検査、評...
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移動ガイドにベアリングを使用した高精度で安定性の高い自動回転ステージです。3軸ステージコントローラHSC-103と使用することで、従来...
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半導体ウェハーのマーカなどのアライメントに使用する微小角調整用の自動回転ステージです。 ■詳細 ・試料ごとに微小な回転角度を調整...
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テーブル面サイズφ25mmのステッピングモータ駆動の小型自動ステージです。従来の製品より大幅に小型化され、省スペースが必要な生産設備...
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CEに準拠した自動回転ステージ (OSMS-YAWシリーズ) をベースに、新たに「ロータリーエンコーダ付2相ステッピングモータ」を搭載したモデ...
シグマ光機の回転ステージ13製品中の注目ランキング
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