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株式会社日本レーザー
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小型ロータリー位置決めステージ。高分解能 0.022 °を超える精度で位置決めが可能です。クローズドループ制御で帯域幅100Hzまで対応。駆...
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RGAシリーズ、ロープロファイル、高速回転ステージは、低荷重で大口径を必要とするが、ウェーハチャックなどのサンプルホルダーの高速で...
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RGAシリーズ、ロープロファイル、高速回転ステージは、低荷重で大口径を必要とするが、ウェーハチャックなどのサンプルホルダーの高速で...
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■特徴 ・ブラシレスダイレクト駆動方式により高速回転、高トルク、高い信頼性、および優れた位置感度を達成 ・115mm × 115mmの極めて狭...
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■特徴 ・直径80～350mmまでの精密回転ステージ ・優れた構造剛性を保証する一体設計 ・高荷重アプリケーションに最適 ・直読式エンコー...
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■特徴 ・バックラッシュの無い連続的な回転、MTBF20,000時間 ・DCモータに8,000cts/revロータリエンコーダを採用、分解能0.0005° ・独自...
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■特徴 ・平均寿命を低下させずに高速回転を実現するURSシリーズのベルト駆動モデル ・最大速度720°/s ・低価格モータを実装した分解能0....
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■特徴 ・10mmの精密垂直移動と360度の連続角度移動を実現する超薄型デザイン ・低質量と高い固有振動数により、すばやいステップ・アン...
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■特徴 ・信頼性の高い堅固な構造 ・コンパクトなデザイン (コントローラーとモーターを一体化したiPP テクノロジー) ・iPP グラフィカ...
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■特徴 ・便利なハンドオフでのリモート調整が可能 ・調整感度5mrad (1秒) で連続360度回転が可能 ・超コンパクト－スペースのないセット...
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■特徴 ・分解能0.2mrad ・精度の高いエンコード回転 ・iPico™コントローラやドライバと互換 分解能が0.011°未満で全体の厚みがたった0....
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