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XQ Instruments
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EMICON SA-HIPIMSシステムは、EMICON SAシステムのアップグレードバージョンです。プロセスガスの制御に有効なスペクトル測定と同時に、電気的なパルスデータ...
XQ Instruments
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■特徴 ・SCI製ロータリーカソードで多数の実績 ・成膜レートを最大3倍に向上させる事も可能 (例:SiO2のリアクティブ成膜) ・200nmから1,100nmまでの波長を...