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テクニカのパルス発生器

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株式会社テクニカ

高電圧定電流パルス発生器 HTA-1

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■概要 この装置は、半導体製造装置に採用されている電源ユニットです。電圧制御信号を入力として、放電ギャップに印加する放電開始電圧...


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