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日本高周波株式会社
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本装置は、マイクロ波伝送線路の発振装置と負荷の部分に挿入し、プラズマ等の負荷インピーダンスをリアルタイムに監視するモニタ装置です。インピーダンスの...
日本高周波株式会社
10人以上が見ています
最新の閲覧: 34分前
本装置は、マイクロ波伝送線路の発振装置と負荷の部分に挿入し、プラズマ等の負荷インピーダンスをリアルタイムに監視するモニタ装置です。インピーダンスの...