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使用用途

#フォトリソグラフィ

光源種類

LED光源型

解像方式

投影露光型

対応サイズ

大型基板対応型

最小露光線幅 µm

1 - 2

露光領域 mm

50 - 150

対物レンズ倍率 倍

0 - 5

サーマプレシジョンのFPD露光装置

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1 点の製品

株式会社サーマプレシジョン

量産投影露光装置 CMS (Cerma Micro Stepper)

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最新の閲覧: 1日前

■特長 ・L/S=1.4/1.4um量産プロセスに対応 ・650×550mmのフルパネル量産に対応 ・ダイバイダイアライメン&グローバルアライメント方式...




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