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使用用途

#半導体製造

#フォトリソグラフィ

光源種類

エキシマレーザー型

解像方式

投影露光型

対応サイズ

中小型基板対応型

最小露光線幅 µm

0 - 1

光源波長 nm

200 - 300

露光領域 mm

0 - 50

キヤノン電子のFPD露光装置

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キヤノン電子株式会社

半導体露光装置 IoT関連デバイス向けKrFステッパー

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