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項目別
使用用途
#フォトリソグラフィ
光源種類
水銀ランプ型
解像方式
接触露光型
近接露光型
対応サイズ
中小型基板対応型
光源波長 nm
200 - 300
300 - 350
350 - 400
400 - 500
500 - 1,100
露光領域 mm
50 - 150
150 - 1,000
消費電力 kW
0 - 3
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壺坂電機株式会社
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