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東京計装の流量計

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4 点の製品

東京計装株式会社

超音波流量計 洗浄装置、CMP装置の流量計測・制御に コンパクト超音波流量モニタ UCF006

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■概要 UCF006はコンパクトモデルの超音波流量モニタです。流量測定部をストレート構造にすることで、半導体プロセスにおいて問題であっ...


東京計装株式会社

超音波流量計 洗浄装置、薬液供給装置の高温流量計測に 高温液体用小口径超音波流量計 UCUF-04MT/SFC-010T

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■概要 高温用UCUF-04MT形超音波流量計は超純水や各種薬液などの小流量測定で実績のあるUCUFシリーズ超音波流量計を高温用に改良した流量...


東京計装株式会社

超音波流量計 洗浄装置、CMP装置の流量計測・制御に 液体用小流量用超音波流量計 UCUF-Eシリーズ

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■概要 UCUF-Eシリーズ液体用超音波流量計は超純水や各種薬液などの小流量計測用に設計された流量計で、UCUF-E形検出器と、SFC形変換器で...


東京計装株式会社

超音波流量計 洗浄装置、CMP装置の流量計測・制御に 液体用小流量用超音波流量計 UCUF-Kシリーズ

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■概要 UCUF-Kシリーズ液体用超音波流量計は超純水や各種薬液などの小流量計測用に設計された流量計で、UCUF-K形検出器と、SFC形変換器で...


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