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電界放出型
シュットキー型
試料環境対応
低真空型
分解能 nm
0 - 1
1 - 2
2 - 16
加速電圧 kV
0 - 1
1 - 5
5 - 10
10 - 15
15 - 30
倍率 倍
1 - 10
10 - 25
25 - 50
50 - 100
100 - 200
200 - 100,000
100,000 - 1,000,000
ステージ移動範囲 °
-15 - -10
-10 - 0
0 - 70
70 - 90
最大試料寸法 mm
30 - 80
80 - 200
200 - 1,500
プローブ電流 nA
100 - 500
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2 点の製品
明伸工機株式会社
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■概要 ・光学顕微鏡だけではわからない形状&組成を迅速に確認 ・異物解析や品質管理を効率化する機能を各種搭載した卓上SEM 特長 ■異...