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出力電圧 V

500 - 1,000 1,000 - 10,000

出力電流 A

1 - 10

入力電圧 V

100 - 200 200 - 300

冷却方式

強制空冷

使用用途

スパッタリング

エイチ・エス・エレクトリックの直流電源

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7 点の製品

有限会社エイチ・エス・エレクトリック

DCスパッタリング電源 HSPN-05

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■特徴 ・製品ラインアップ:出力500W~20kW 並列運転により最大60kW ・小型化:弊社従来品比約2/3 ・低アーク処理:オプション対応


有限会社エイチ・エス・エレクトリック

DCスパッタリング電源 HSPN-1.5

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DCスパッタリング電源 HSPN-10

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DCスパッタリング電源 HSPN-15

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DCスパッタリング電源 HSPN-2

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DCスパッタリング電源 HSPN-20

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有限会社エイチ・エス・エレクトリック

DCスパッタリング電源 HSPN-4

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