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アリオス株式会社
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■概要 簡便にプラズマ診断 (計測) を行う方法の1つ、ラングミュアプローブ法。プラズマ中に探針を挿入し、その電圧電流特性を測定、解析し、プラズマパラメー...
アリオス株式会社
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■概要 ラングミュアプローブ方式により、プラズマパラメーターを多点で測定するシステムです。 ターゲットあるいはサンプル上の各種プラズマパラメーター分布...
