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ハイソルの洗浄装置

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ハイソル株式会社

ラッピング・ポリッシング装置 ウエハー洗浄装置 ParticleClean

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研究開発用に最適な卓上型の洗浄装置です。CMPといった研磨後のウエハー洗浄など、手洗いの代替としてご使用頂けます。 ■特徴 ・スクラブと2流体 (ミスト) ...


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