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タツモの洗浄装置

8 点の製品がみつかりました

8 点の製品

タツモ株式会社

リン酸プロセス装置 リン酸高温循環装置 NISON ® 1800

180人以上が見ています

最新の閲覧: 18時間前

NISON®1800は、熱リン酸による窒化膜エッチングに必要不可欠な装置として長年に渡り半導体業界で広く採用されてきました。その機能は、...


タツモ株式会社

リン酸プロセス装置 リン酸再生装置 PSYRION

230人以上が見ています

最新の閲覧: 1日前

窒化膜エッチングに用いられる熱リン酸は、プロセス処理により生成される珪素の濃度が上昇するため、定常的に新液への交換が必要になり...


タツモ株式会社

Quark紫外線照射装置 Excimer Lamp 172nm エキシマ照射装置 フラットタイプ

160人以上が見ています

最新の閲覧: 1日前

■アプリケーション例 ・フォトマスク検査前除電 ・ウェハ除電 (回路破損防止) ・ガラス表面有機物除去 (ドライクリーニング) ・コート...


タツモ株式会社

Quark紫外線照射装置 Excimer Lamp 222nm 除菌用紫外線ライト「eVIO」-エヴィオ-

130人以上が見ています

最新の閲覧: 1日前

eVIOは、紫外線本来のウィルス抑制・除菌能力を保持したまま、人や動物の身体への影響を抑える先進技術によって、従来の紫外線波長では...


タツモ株式会社

Quark紫外線照射装置 UV-Laser

120人以上が見ています

最新の閲覧: 3時間前

■アプリケーション例 ・レーザーリフトオフ (WLP , PLPなど) ・フレキシブル材微細加工 (PI,銅など) ・マイクロビアホール穿孔 ・ファ...


タツモ株式会社

Quark紫外線照射装置 UV-LED照射装置 面照射型ユニット (SQ/CIシリーズ)

140人以上が見ています

最新の閲覧: 1日前

■アプリケーション例  ・レジスト硬化 ・ナノインプリント硬化 ・ダイシングテープ剝離 ・貼り合わせUV硬化 ・ブリーチング ・分光/検...


タツモ株式会社

半導体製造装置 洗浄装置 リフトオフシステム VAP200TM/VAP300TM

190人以上が見ています

最新の閲覧: 7時間前

バッチ浸漬式洗浄モジュールと枚葉式洗浄モジュールを複合させたユニークな装置構成と なっており、フォトレジストやフィルムの剥離処理...


タツモ株式会社

リン酸プロセス装置 珪素濃度調整装置

170人以上が見ています

熱リン酸プロセスでは、処理槽内の薬液交換を行った直後には珪素濃度が低過ぎるため、ダミー処理を行う必要があり、生産性が低下してし...


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