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使用用途
#半導体製造
#光学検査
#測定装置
#ナノテクノロジー
移動範囲 mm
0 - 100
100 - 500
500 - 1,000
位置決め精度 μm
0 - 1
1 - 5
10 - 30
最大速度 mm/秒
100 - 500
500 - 1,000
1,000 - 2,000
繰返し位置決め精度 μm
0 - 1
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