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分解能 nm

0 - 1 2 - 3 15 - 150

プローブ電流 10⁻⁹A

1 - 10 10 - 100

真空度 10⁻⁶Pa

0 - 10 10 - 100
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ユニソクの走査型電子顕微鏡

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超高真空集束イオンビーム･電子顕微鏡 超高真空FIB/SEMカラム-株式会社ユニソク

株式会社ユニソク

超高真空集束イオンビーム･電子顕微鏡 超高真空FIB/SEMカラム

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