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オプトシリウスのレジスト

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オプトシリウス株式会社

電子ビーム描画装置、EUV 露光装置、ナノインプリント・リソグラフィー向け ネガ型 粉体のレジスト H-SiOx

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■粉体のレジストならではの特徴 ・⾧期間の保管が可能です …1年間の保管期間 ・いつも同じ粘度で使えます …使用前に溶媒と混合して使うので増粘しません ・広...


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