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HUGパワーの半導体洗浄装置

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2 点の製品

HUGパワー株式会社

パワーデバイス向け蒸気2流体洗浄装置 ASTE (アステ)

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■半導体向け/ASTE (アステ) エッチング後のポリマ除去/ウェハ上の異物除去に有効 ■高価なアミン系剥離剤がいらない アミン系剥離剤の...


HUGパワー株式会社

イオン注入後のレジスト剥離装置 高濃度オゾン水洗浄装置 AURORA (オーロラ)

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■レジスト剥離/AURORA (オーロラ) 硫酸、有機溶剤などの危険な化学薬品をなくすことが可能 ■硫酸がいらない 高ドーズイオン注入後のレ...




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