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SCREENセミコンダクターソリューションズの半導体洗浄装置

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5 点の製品

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株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

フットプリント半減、生産性1.5倍のハイコストパフォーマンス洗浄装置 コンパクトウェットステーション CW-2000

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特長 ■オールインワンコンセプト 薬液供給ユニットおよび冷却ユニットを本体内部に搭載。当社従来装置との比較で約45%の省スペース化を...


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株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

最大毎時500枚のハイスループットを実現した、200mm向けスピンスクラバ スピンスクラバ SS-3200 for 200mm

最新の閲覧: 1日前

■特長 ウェーハ処理における純水使用量の削減により、環境負荷の軽減に貢献。スライドアウト式スピンチャンバの採用により、メンテナン...


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株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

豊富な実績を誇るSSシリーズの安定性・信頼性を継承した先進のスピンスクラバ スピンスクラバ SS-80EX

最新の閲覧: 1日前

特長 ■高生産性 長年にわたるスピンスクラバ技術を踏襲しながら、機能性をさらに向上。最大毎時160枚 (弊社現行機比111%) ※の高速処理...


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株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

ハイエンドの枚葉洗浄装置技術を継承し、優れたコストパフォーマンスを実現 枚葉式洗浄装置 SU-2000

最新の閲覧: 2時間前

電子産業界のあらゆる分野で、「グリーンデバイス」と呼ばれる環境負荷の軽減に配慮した技術や製品が大きな注目を集めています。中でも...


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株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

ライン構成がフレキシブルな高スループット バッチ式洗浄システム ウェットステーション WS-620C/ WS-820C/ WS-820L

最新の閲覧: 7時間前

特長 ■2タイプの搬送方式を準備 キャリア搬送処理のWS-620C (150mmウェーハ用) / WS-820C (200mmウェーハ用) と、キャリアレス搬送処理...


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