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ピクリングのFPD製造装置

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株式会社ピクリング

スピンコータ

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■特徴 ・2インチ~6インチウェハ用レジスト塗布 ・膜厚0.8μm~1μm (参考値) ・スピン回転数50rpm~6,000rpm (任意設定) ・回転式ベーク炉50℃~200℃±1% ・2...


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