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HFJ生活事業のエッチング装置

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HFJ生活事業株式会社

半導体製造メーカー向け開発商品 スピンエッチング装置

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■製品概要 ・φ2”~φ6”用 (他のサイズや形状変更にも対応可能) ・スイングブラシ機構付き。 ・MSリンス機構付き (2流体リンス機構にも変...


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