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タツモのエッチング装置

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4 点の製品

タツモ株式会社

半導体製造装置 洗浄装置 枚葉式エッチング・ 洗浄システム CENOTE ®

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枚葉式洗浄システムCENOTE ®は、マルチカップ方式を採用した多機能枚葉式洗浄装置です。クリーンな液体をウェハ表面に連続供給すると同...


タツモ株式会社

塗布・現像装置 CSXシリーズ

190人以上が見ています

最新の閲覧: 5時間前

CSX2000シリーズは、装置構成に柔軟性と拡張性を持たせ、研究開発向けから量産ラインまで幅広い対応を実現したコータ/デベロ ッパです。...


タツモ株式会社

塗布・現像装置 SPRシリーズ

210人以上が見ています

最新の閲覧: 5時間前

SPR3000シリーズは、特に高速処理に特化したタツモフラッグシップコータ/デベロッパです。装置構成に柔軟性と拡張性を持たせ、ユニット...


タツモ株式会社

半導体製造装置 洗浄装置 バッチ式浸漬洗浄・エッチングシステム TIGRISR

240人以上が見ています

最新の閲覧: 4時間前

バッチ式洗浄装置TIGRIS®200及びTIGRIS®300は、200mm/300mm対応型の高機能浸漬洗浄エッチングシステムで、業界標準仕様に所有技術を付加...


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