タツモのエッチング装置
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4 点の製品がみつかりました
タツモ株式会社
塗布・現像装置 CSXシリーズ
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CSX2000シリーズは、装置構成に柔軟性と拡張性を持たせ、研究開発向けから量産ラインまで幅広い対応を実現したコータ/デベロ ッパです。特に厚膜プロセスに対...
タツモ株式会社
塗布・現像装置 SPRシリーズ
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SPR3000シリーズは、特に高速処理に特化したタツモフラッグシップコータ/デベロッパです。装置構成に柔軟性と拡張性を持たせ、ユニット単位で必要な数だけ選...
タツモ株式会社
半導体製造装置 洗浄装置 枚葉式エッチング・ 洗浄システム CENOTE ®
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枚葉式洗浄システムCENOTE ®は、マルチカップ方式を採用した多機能枚葉式洗浄装置です。クリーンな液体をウェハ表面に連続供給すると同時に、薬液の種類、混...
タツモ株式会社
半導体製造装置 洗浄装置 バッチ式浸漬洗浄・エッチングシステム TIGRISR
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バッチ式洗浄装置TIGRIS®200及びTIGRIS®300は、200mm/300mm対応型の高機能浸漬洗浄エッチングシステムで、業界標準仕様に所有技術を付加しました。各種モニタ...
