昭和真空のエッチング装置

プラズマ処理装置 ICPメタル エッチング装置

神港精機株式会社

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プラズマ処理装置 マルチチャンバ ICP エッチング装置

神港精機株式会社

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2周波独立印加方式 ドライエッチング装置

ジャパンクリエイト株式会社

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低ダメージで平滑な表面が実現 PlasmaPro 100 ALE 原子層エッチングシステム

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

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高速なエッチングレートを実現 PlasmaPro 100 Cobra ICP RIE エッチングシステム

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

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DRIEアプリケーション用プラットフォーム PlasmaPro 100 Estrelas DRIE

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

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ウエットライン装置 エッチング剥離ライン

株式会社ファイコーポレーション

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小型エッチング装置 AEP-3000S

アクテス京三株式会社

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量産用ドライエッチング装置 NE-5700/NE-7800

アルバック販売株式会社

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オプトデバイス、MEMS向け ドライエッチング装置 NLD-5700

アルバック販売株式会社

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研究開発向けNLDドライエッチング装置 NLD-570

アルバック販売株式会社

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バッチ式自然酸化膜除去装置 RISETM-300

アルバック販売株式会社

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