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パナソニック コネクトのエッチング装置

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パナソニック コネクト株式会社

ドライエッチャー APX300

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■主な機能・特長 ・独自のICPプラズマ源を用い、高精度加工高均一加工が可能 ・独自のバッチESC電極により、各々の基板をダイレクト吸着...




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