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芝浦メカトロニクスのエッチング装置

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芝浦メカトロニクス株式会社

フォトマスクエッチング装置 ARES® series

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■次世代・先端半導体に対応したグローバルニッチトップ製品の開発を推進 半導体デバイスの微細化が進んでおり、これに対応した装置の開...


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芝浦メカトロニクス株式会社

ケミカルドライエッチング装置 CDE series

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■次世代・先端半導体に対応したグローバルニッチトップ製品の開発を推進 半導体デバイスの微細化が進んでおり、これに対応した装置の開...


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芝浦メカトロニクス株式会社

高温リン酸エッチング装置 SC300-HT series

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