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項目別

使用用途

#位置決め制御

移動範囲 mm

0 - 100

100 - 200

双方向再現性 µm

0 - 0.5

真直度 µm

1 - 2

2 - 5

平坦度 µm

1 - 5

最大速度 mm/s

0 - 100

100 - 500

センサー解像度 nm

1 - 10

10 - 100

工苑の2軸ステージ

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