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項目別

移動範囲 mm

0 - 100 100 - 200 300 - 400

双方向再現性 µm

0 - 0.5

真直度 µm

1 - 2 2 - 5 5 - 100

平坦度 µm

1 - 5 5 - 10

最大速度 mm/s

0 - 100 100 - 500

センサー解像度 nm

1 - 10 10 - 100
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工苑の2軸ステージ

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