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テクノマシナリーのCMP装置

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テクノマシナリー株式会社

PADクリーニング装置 TPC-01

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■概要 CMPパッドの表面、溝をクリーニングするマシンです。 ■特徴 ・吸着は真空ポンプ ・回転ブラシによる加工クズ除去 ・強力ブロアー...




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