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項目別

対応ウェハーサイズ インチ

0 - 4

4 - 6

6 - 8

8 - 10

プレート回転速度 min-1

0 - 70

70 - 100

電源仕様 V

50 - 120

重量 kg

50 - 150

ハイソルのCMP装置

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ハイソル株式会社

ケミカルポリッシング装置 CP4000

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