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ハイソルのCVD装置

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ハイソル株式会社

卓上型シランCVD成膜装置 EcoCoat (エココート)

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75.6時間 平均返答時間

プラズマ洗浄~ワーク脱水 (デハイドレーション) ~シランCVD~ガス排出までチャンバー内で自動一括処理できる、R&D向けの卓上型シランCVD装置です。無機物と...


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