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100 - 300

ハイソルのCVD装置

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1 点の製品

ハイソル株式会社

卓上型シランCVD成膜装置 EcoCoat (エココート)

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プラズマ洗浄~ワーク脱水 (デハイドレーション) ~シランCVD~ガス排出までチャンバー内で自動一括処理できる、R&D向けの卓上型シランC...


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