スパッタリングコンポーネンツジャパンのCVD装置

株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパンのCVD装置1製品が登録されています。 スパッタリングコンポーネンツジャパンのその他の取扱カテゴリーには、パルス発生器DC電源シリコン樹脂などがあります。

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株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

大型基板用PECVD COPRA Linear Sources

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■特徴 ・パワーレベルに比例したイオンエネルギーの上昇が無い為、基板ダメージが少ない ・適用真空範囲が、1x10-4から1x10-1 mbarと広い為、スパッタ装置...


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